de la physique à la microélectronique
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De la physique à la microélectronique. Invention du transistor Fabrication d ’un transistor MOS Vue symbolique Fonctionnent du transistor La physique du transistor Les vues symboliques. Objectifs. Nous verrons comment est fabriqué un transistor MOS. - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
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De la physique à la microélectronique
Invention du transistor
Fabrication d ’un transistor MOS
Vue symbolique
Fonctionnent du transistor
La physique du transistor
Les vues symboliques
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Objectifs
• Nous verrons comment est fabriqué un transistor MOS.
• Nous comprendrons son mode de fonctionnement en interrupteur ouvert ou fermé.
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Le transistor Bipolaire
• J. Bardeen, W. Shockley, W. Brattain—Reçoivent en 1947, 10 $ pour la découverte du T bipolaire.— en 1956 le prix Nobel.
• W. Shockley —rédige la théorie en 1951.
• Définitions—Le transistor métal-oxyde-silium ou MOSFET.—Un cristal de silicium riche en trous est une région P—Une region riche en électrons est une région N
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Le tout premier transistor
5
Microprocesseur
6
Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
7
Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
Oxyde
Oxydation de champ
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Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
Masque 1 : Oxyde de grille
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Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
Gravure, oxydation de grille
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Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
Dépôt de Métal
Métal
11
Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
Masque 2 : Grille
12
Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
Attaque métal et oxyde
Métal
13
Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
ImplantationRécuit
Métal
P
PP
P
P
P
P P
P
PP
P
P
P
P
PP
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Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
Métal
P P
P
PP
ImplantationRécuit
n+n+
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Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
Métal
Zone d’isolation n+n+
16
Fabrication d’un transistor MOS
Silicium P
Dépôt MétalliqueMasque 3 : interconnexion
Métal
Zone d’isolation n+n+
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Vue symbolique
Métal : BleuOxyde : RougeSemiconducteur : Vert
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Fonctionnement du transistor
--- -
-- -
Rappels :
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Fonctionnement du transistor
Source Drain
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Fonctionnement du transistor
Source DrainV. Grille < V. Seuil
-- - --- -
-- - --- -
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Fonctionnement du transistor
Source Drain
Transistor passant
V. Grille > V. Seuil
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La physique du transistor
Zone désertée
Zone désertée
Bande interdite
Électrons
Bande de conduction
Bande de valence
Trous
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La physique du transistor
Zone désertée
Zone désertée
Bande interdite
Électrons
Bande de conduction
Bande de valence
V. Grille < V. Seuil
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La physique du transistor
Zone désertée
Zone désertée
Bande interdite
Électrons
Bande de conduction
Bande de valence
V. Grille > V. Seuil
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Vues symboliques
Transistor ouvert fermé