systÈme de dÉposition par pulvÉrisation cathodique … · cathodique et un porte-substrat...

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SYSTÈME de DÉPOSITION par PULVÉRISATION CATHODIQUE

Modèle SPT320

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Table des Matières Introduction .......................................................................................................................... 3 1. Composantes du Système ................................................................................................ 5 2. Installation ....................................................................................................................... 8 3. Description des sous-systèmes ........................................................................................ 9

3.1 Chambre à vide .......................................................................................................... 9 3.2 Système de refroidissement ....................................................................................... 9 3.3 Porte-substrat ........................................................................................................... 11 3.4 Micro-balance à quartz ............................................................................................ 11 3.5 Système de Pompage ............................................................................................... 11 3.6 Système d’Injection des Gaz ................................................................................... 11

3.6.1 Composantes du système d’injection .......................................................................... 11 3.6.2 Comment préparer les lignes d’injection de gaz ......................................................... 14 3.6.3 Détection de fuite sur les lignes de gaz ...................................................................... 15

3.7 Contrôle de la Pression ............................................................................................ 15 3.8 Cathode de Pulvérisation (Magnétron) .................................................................... 15 3.9 Générateur RF, Adaptateur d’impédance et jeu de commutateur ............................ 16

4. Système de Contrôle ...................................................................................................... 16 4.1 Contrôle du pompage ............................................................................................... 17 4.2 Contrôle des procédés .............................................................................................. 17 4.3 Interface Usager ....................................................................................................... 19

4.3.1 Vue d’ensemble .......................................................................................................... 19 4.3.2 Initialisation du Programme de Contrôle .................................................................... 19

4.4 Description des Fonctions de Contrôle .................................................................... 22 4.4.1 Contrôle des débits ..................................................................................................... 22 4.4.2 Contrôle de la Puissance RF ....................................................................................... 22 4.4.3 Contrôle de la rotation du porte-substrat .................................................................... 23 4.4.4 Contrôle de la pression ............................................................................................... 23 4.4.5 Graphiques ................................................................................................................ 25 4.4.6 Sauvegarde de données ............................................................................................... 25 4.4.7 Mode Programmé ....................................................................................................... 26 4.4.8 Entrée des paramètres d’un programme ..................................................................... 27 4.4.9 Sortie ........................................................................................................................... 29

4.5 Exécution du Programme ........................................................................................ 29 4.6 Configuration de Paramètres ................................................................................... 30

5. Opération ....................................................................................................................... 32 5.1 Insertion d’un substrat ............................................................................................. 32 5.2 Débuter un procédé de dépôt ................................................................................... 32 5.3 Séquence d’opération typique (mode semi-manuel) ............................................. 33 5.4 Mode programmé ..................................................................................................... 33 5.5 Amener la chambre à la pression atmosphérique .................................................... 34 5.6 Changement de la cible du magnétron ..................................................................... 34

6. Entretien du Système ..................................................................................................... 35 7. Liste des Pièces .............................................................................................................. 37 8. Schémas Électriques des Boîtes de Contrôle ................................................................. 48

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SYSTÈME HYBRIDE DE DÉPOSITION PAR

PULVÉRISATION CATHODIQUE

Modèle SPT320

Introduction

Le système SPT320 comprend 3 magnétrons MAGNION-02 pour la pulvérisation cathodique et un porte-substrat rotatif. Avec un système de pompage approprié, le système peut être utilisé pour des applications PECVD. Le SPT320 a été conçu pour une utilisation en R&D ; c’est donc un système versatile qui permet des changements faciles de configuration, de mode d’opération et de paramètres. Puisque le système n’est pas un outil de production, l’attention d’un opérateur est requise durant l’opération. Ce manuel décrit les caractéristiques du système et les procédures d’opération.

AVERTISSEMENT:

LE SYSTÈME STP120-H DOIT ÊTRE OPÉRÉ PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ SEULEMENT

LE MANUEL DEVRAIT ÊTRE LU ATTENTIVEMENT AVANT D’OPÉRER LE

SYSTÈME

IL EST IMPORTANT POUR L’UTILISATEUR DE SUIVRE LES RECOMMANDATIONS DE SÉCURITÉ ET LE MODE D’EMPLOI FOURNIS

PAR LES MANUFACTURIERS ORIGINAUX D’ÉQUIPEMENT

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Recommandations Générales de Sécurité et Précautions Les recommandations décrites dans cette section devraient être suivies pendant l’opération du système. Elles ne remplacent cependant pas les procédures de sécurité fournies par les manufacturiers des appareils intégrés au système. Il est important que les usagers se familiarisent avec les procédures d’opération et les mesures de sécurité du système et de ses composantes avant d’opérer le système. PLASMIONIQUE n’assume pas la responsabilité dans les cas où le client ne respecte pas ces exigences. LE SYSTÈME DOIT ÊTRE OPÉRÉ PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ NE PAS MODIFIER OU SUBSTITUER DES PARTIES DU SYSTÈME PERMETTRE UN TEMPS DE RÉCHAUFFEMENT POUR LES APPAREILS SENSIBLES À LA TEMPÉRATURE TELS QUE LES DÉBITMÈTRES, LA JAUGE BARATRON, ETC. LE SYSTÈME ET SES COMPOSANTES DOIVENT ÊTRE ENTRETENUS PAR DU PERSONNEL QUALIFIÉ SEULEMENT SI LE SYSTÈME EST UTILISÉ AVEC DES GAZ OU MATÉRIAUX DANGEREUX, TOUTES LES PRÉCAUTIONS DE SÉCURITÉ APPROPRIÉES POUR CES GAZ ET MATÉRIAUX DOIVENT ÊTRE RESPECTÉES NE PAS OPÉRER LE SYSTÈME DANS UN ENVIRONNEMENT OÙ IL Y A LA MOINDRE POSSIBILITÉ DE FUITE DE GAZ EXPLOSIF LE SYSTÈME DOIT AVOIR UNE BONNE MISE À LA TERRE POUR LA BASSE FRÉQUENCE ET LES FRÉQUENCES RF (CONDUCTEURS DE LARGE SURFACE) DE L’EAU DE REFROIDISSEMENT DOIT ÊTRE CONNECTÉ AU SYSTÈME ET ÊTRE MAINTENU ENTRE 15 ET 30° C (LA LIMITE INFÉRIEURE EST POUR EMPÊCHER L’EAU DE CONDENSER SUR DES CONNECTIONS À HAUT VOLTAGE) S’ASSURER QUE LES LIGNES DE GAZ SONT ÉTANCHES ; IL EST DE LA RESPONSABILITÉ DE L’USAGER D’INSTALLER DES DÉTECTEURS POUR LES FUITES DE GAZ SUIVRE TOUTES LES MESURES DE SÉCURITÉ DANS LA MANIPULATION DE GAZ PRESSURISÉS LA PRESSION DES LIGNES DE GAZ NE DEVRAIT JAMAIS DÉPASSER 60 PSI

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1. Composantes du Système Les composantes majeures sont montrées dans les Figures 1et 2.

1. Chambre à vide 2. Magnétron (cathode de pulvérisation) 3. Cache du magnétron 4. Fenêtre de visualisation 5. Senseur de porte ouvert 6. Jauge à pression de type Baratron 7. Jeu de commutateur 8. Adaptateur d’impédance 9. Jauge à pression à gamme étendue (2 jauges en 1) 10. Écran de l’ordinateur 11. Souris et clavier 12. Pompe mécanique 13. Microbalance 14. Porte-substrat 15. Bouton d’arrêt d’urgence 16. Boîte de contrôle du pompage et sources de voltage DC 17. Contrôleur de l’adaptateur d’impédance 18. Générateur RF 19. Ordinateur de contrôle 20. Boîte de contrôle principale reliée à l’ordinateur 21. Contrôleur de la valve de régulation de pression 22. Valve de mise à l’atmosphère 23. Valve de sécurité pour surpression 24. Valve de purge 25. Débitmètres massiques 26. Valves pneumatiques de la fermeture des lignes de gaz 27. Valves solénoïde pneumatiques 28. Valve de régulation de la pression et Pompe turbomoléculaire 29. Bellow connecté a la sortie de la pompe turbo 30. Senseurs de débit d’eau 31. Connections d’entrée des gaz de travail et de l’air comprimé

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Figure 1. Vues de face du système 4

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3

13 14

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8

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Figure 2. Vue de face du bas de la chambre

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30

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29

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2. Installation

Le système va être livré avec les branchements entre composantes déjà faits. Quelques branchements doivent être faits sur place.

1. L’alimentation AC principale devrait être branchée à l’arrière du cabinet d’instrumentation.

2. Faites les branchements du circuit de refroidissement à l’eau à l’arrière de la structure de support de la chambre à vide, en bas.

3. Branchez une ligne d’air comprimé sur le panneau arrière à l’endroit indiqué. La pression de l’air comprimé devrait être entre 65 et 80 PSI.

4. Branchez les lignes de gaz sur le panneau arrière. Il est recommandé d’utiliser des tubes en acier inoxydable. La pression devrait être maintenue entre 15 et 20 PSI.

5. Remplissez la pompe mécanique d’huile et raccordez-la à la pompe turbomoléculaire (Plasmionique).

6. Raccordez la sortie des gaz de la pompe mécanique à une évacuation d’air du bâtiment.

7. Faites une mise à la terre de la chambre à vide et du cabinet d’instrumentation avec du feuillard de cuivre..

8. Lisez le manuel d’opération avant de démarrer le système.

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3. Description des sous-systèmes 3.1 Chambre à vide La chambre à vide est faite d’acier inoxydable. Le partie du haut supporte les magnétrons (cathode de pulvérisation) et celle du bas contient le porte-substrat. La grande porte avant procure un accès facile à l’intérieur de la chambre. Un connecteur Swagelok permet le pompage du volume entre les deux joints toriques de la porte. Un senseur magnétique installé sur la chambre et relié à l’interlock RF empêche le démarrage de la puissance RF quand la porte est ouverte. La chambre possède quelques ports (piquages) non utilisés pour accommoder les besoins des utilisateurs. 3.2 Système de refroidissement La pompe turbo et les magnétrons sont refroidis à l’eau. Le schéma du circuit de refroidissement à l’eau est présenté à la Figure 3. Des senseurs de débit d’eau coupent le générateur RF si l’eau ne circule pas dans les magnétrons. NOTE: la température de l’eau à l’entrée ne devrait pas être inférieure à 15° C. De l’eau à haute résistivité devrait être utilisée.

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Valve du circuit de l’utilisateur

sig1 vers le contrôle

sig2 vers le contrôle

pompe turbo

Entrée eau Sortie eau

24 VDC

Senseur de débit 24 VDC

magnétron 2

magnétron 1

24 VDC

magnétron 3

Moniteur Quartz

Figure 3. Schéma du circuit de refroidissement d’eau

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3.3 Porte-substrat La position verticale du porte-substrat peut être ajustée manuellement de l’intérieur de la chambre en intercallant des tiges de différentes longueurs. La plaque du porte-substrat est rotative et capable d’accepter des substrats de différentes tailles. La plaque du porte-substrat peut être remplacée facilement.

3.4 Micro-balance à quartz

Un moniteur d’épaisseur de dépôt au quartz est inclus. Le moniteur est refroidi à l’eau et sa position peut être ajustée par rapport aux magnétrons. Le signal de lecture ainsi que l’ajustement de tous les paramètres de la micro-balance au quartz sont faits à partir du système de contrôle informatisé.

Note: une micro-balance est un excellent outil mais pour une mesure absolue des épaisseurs de dépôt, le système de mesure doit être étalonné.

3.5 Système de Pompage

Le système de pompage inclut une pompe turbomoléculaire TV301 de 300 l/s fabriquée par Varian et une pompe mécanique en soutien de la pompe turbo. Une charge d’huile Fomblin a été envoyée avec la pompe mécanique. NOTE: pour l’opération du système avec de l’OXYGÈNE, il est important d’utiliser de l’HUILE DE POMPE INERTE. NOTE: la pompe turbo ne devrait pas rester à l’arrêt pour de longues périodes de temps; il est recommandé de la faire fonctionner pendant au moins 10 minutes à tous les 3 mois. La pompe mécanique est équipée d’une valve anti-suction qui isole et garde le vide dans la chambre à vide à l’arrêt de la pompe ou en cas de panne de courant.

3.6 Système d’Injection des Gaz

3.6.1 Composantes du système d’injection

Le schéma du système d’injection est présenté à la Figure 4. Les valves pneumatiques (PV) sont contrôlées par le programme LabView décrit à la section 4. Une valve manuelle (MV) est utilisée pour mettre la chambre à l’atmosphère. Deux valves

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manuelles (MV) permettent de faire une détection de fuite ou de purger les lignes de gaz en plus de pouvoir servir comme ligne de gaz additionnelle au besoin. Un valve de protection (CV) est aussi inclus pour éviter la condition sur pression dan la chambre. Un contrôleur de débit (MFC) calibré à l’argon est utilisé pour la pulvérisation cathodique et un autre contrôleur calibré à l’azote peur être utilisé par l’usager pour faire entrer un autre gaz dans la chambre à vide. Les débits, temps et durées d’injection sont ajustés à l’aide du programme de contrôle. Note: en général, un MFC peut être utilisé avec d’autres gaz que celui pour lequel il a été calibré (s’il n’y a pas risque de contamination); il faut alors entrer un facteur de correction (qu’on peut trouver dans le manuel des MFCs) si on veut avoir la bonne lecture de débit à l’écran. Le débit maximal pour chacun des deux MFCs est: Ar: 50 sccm O2/N2 50 sccm

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Gas Ar In

Purge Lea k tes t Gas 3

PV 2

MV 2

MV 1

MFC

1

MFC

2

PLG

Gas O2 In

To cham ber

PV 1

Air In

Air Out

Solenoi

d Valve

Control

from

PLC

PV1 P

V2 PV3

PV4 P

V5

QTM

Water F low Switches

CV

Vent Valve

MV 3

Figure 4. Schéma du système d’injection des gaz

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3.6.2 Comment préparer les lignes d’injection de gaz

NOTE: TOUTES LES BOUTEILLES DE GAZ DOIVENT AVOIR UN RÉGULATEUR DE PRESSION et LA PRESSION NE DEVRAIT PAS

DÉPASSER 40 PSI

CHAQUE RÉGULATEUR DOIT ÊTRE UN MODÈLE COMPATIBLE AVEC LE GAZ SPÉCIFIQUE UTILISÉ

Assurez-vous que les valves de test (MV) sont fermées. Connectez les lignes de gaz provenant des bouteilles aux entrées sur le système. Ajustez la pression des régulateurs à environ 20 PSI. Connectez votre ligne d’évacuation des gaz au connecteur de purge sur le système. Pour purger les lignes de gaz 1- Ouvrez la valve de test MV1. 2- Faites circuler du gaz dans la ligne assez longtemps pour évacuer l’air. 3- Fermez la valve MV1. 4- Répétez les étapes 1-3 pour la 2e ligne de gaz.

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3.6.3 Détection de fuite sur les lignes de gaz Pour détecter les fuites avec un détecteur à l’hélium,

1. Bouchez hermétiquement les connecteurs d’entrée des gaz. 2. Branchez le détecteur de fuite à la sortie de purge des gaz et ouvrez la valve TV

de la ligne à tester. 3.7 Contrôle de la Pression Pour un débit de gaz donné, la valve de régulation de la pression s’ouvre et se ferme partiellement pour garder la pression constante de façon automatisée. Le signal de pression absolue servant au contrôle en rétroaction provient d’une jauge de type Baratron. Note: la sensibilité de la jauge Baratron détermine la précision du contrôle de la pression. Le meilleur contrôle s’obtient dans les 2-3 décades à la limite supérieure de la gamme de pression couverte par le Baratron (qui couvre habituellement 4 décades). Par exemple, un Baratron de 1 Torr peut servir pour bien contrôler la pression à partir de 1-5 mTorr en montant. À plus basse pression, il est recommandé d’utiliser un Baratron de 0.1 ou 0.25 mTorr ou encore d’opérer la valve de régulation manuellement tout en ajustant la pression avec un contrôleur de débit de gaz. 3.8 Cathode de Pulvérisation (Magnétron) Trois cathodes de pulvérisation de type MAGNION sont installées sur le système. Ces cathodes sont conçues pour des cibles de 2 pouces de diamètre. Le support de cible de pulvérisation accepte des cibles de 1/8 de pouce d’épaisseur mais d’autres épaisseurs peuvent être utilisées en changeant le support. Pour des matériaux magnétiques, des cibles plus minces, 1/16 de pouce par exemple, doivent être utilisées. La cathode fonctionnera aussi bien avec des cibles métalliques qu’avec des cibles diélectriques. L’espace entre la cathode et l’anode au-dessus de la cible devrait être ajustée à environ 0.8 mm. La puissance maximale recommandée qui peut être appliquée au magnétron est de 300 Watts. Le magnétron est refroidi à l’eau avec un débit minimal de 0.5 GPM (1.9 LPM). NOTE: Si les cathodes de pulvérisation ne seront pas utilisée pour une longue période de temps, il est recommandé de vider le circuit de refroidissement d’eau. Chaque magnétron est protégé contre les contaminations par une cache pneumatique, contrôlé par le système de contrôle.

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3.9 Générateur RF, Adaptateur d’impédance et jeu de commutateur L’opération du générateur RF est décrite dans le manuel accompagnant l’appareil (sur CD). L’usager devrait se familiariser avec le fonctionnement de l’appareil et avec les notions de sécurité décrites dans le manuel. Un circuit d’auto-protection relié au senseur de débit d’eau coupe la puissance RF en cas de débit insuffisant. La puissance RF est aussi coupée si la porte est ouvert et en mode d’Arrêt d’Urgence (bouton rouge). Un adaptateur d’impédance motorisé placé entre le générateur et le magnétron garde la puissance réfléchie près de 0 Watt de façon automatique. Le jeu de commutateur, contrôlé par ordinateur, est utilisé pour choisir le magnétron vers lequel la puissance RF sera envoyée. 4. Système de Contrôle Le système de contrôle pour le SPT-320 a deux parties indépendantes. La 1ère partie permet le contrôle indépendant du pompage et la 2e partie permet le contrôle par ordinateur des procédés de déposition. La Fig. 5 ci-dessous résume les procédés de contrôle dans un diagramme.

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4.1 Contrôle du pompage Le contrôle du pompage inclut l’opération des pompes et des jauges à pression. Un dessin schématique du panneau avant de l’unité de contrôle du pompage est présenté à la figure 6. Cette unité fournit l’alimentation en voltage des jauges de la chambre principale ainsi que la puissance DC de faible voltage pour la boîte de contrôle principale.

C-5ADC PO WER O UT

MICRO BALANCE

MECH. PUMP AC IN

PO WER SUPLIES& TURBO AC IN

E-2A

H-2A

D-10A

N-2AM-2AL-2A

K-2AJ-2AI-2A

G-2A

F-2A

FRONT PANEL

BACK PANEL

OFF ON

WATER

Fuse

Fuse

Fuse

Fuse

INT A

INT B

INT C

MOTOR

MECHPUMP

TURBOPUMP

GAUGE

FuseFuseFuse

FuseFuseFuse

Fuse

Fuse

2

1

3

1- Interrup teur pr inc ipa l; 2- IN T1, IN T2, IN T3 indiq uent le s ta tus des 3 alimenta tions DC dans la boîte; 3- Interrup teurs p o ur p ompes et jauge princ ipale ; ces inte rrup teurs so nt indép endants de l’ inte rrup teur princip al O N /O FF.

Figure 6. Unité de contrôle du pompage

4.2 Contrôle des procédés Le Système de Déposition SPT-320 est automatisé à l’aide d’un logiciel LabView dédié et roulant sur PC. L’ordinateur utilise un port USB unique pour communiquer avec la boîte de contrôle principale et cette connexion USB est isolée optiquement du reste du système. Le système de contrôle inclut un "watchdog" ou circuit de surveillance qui vérifie les communications avec l’ordinateur. Si un arrêt de communication se produit, tous les appareils connectés à la boîte de contrôle sont deasctivés et une alarme se fait entendre. La Fig. 7 montre le schéma du système de contrôle.

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SCADA

Sherbrooke SPT320-H: Control System Block Diagram

Plasmionique Inc.

ILK INPUTSWFS-1: Mag. 1WFS-2: Mag. 2WFS-3: Mag. 3

ILK_DOOR

LB1

RF 300W Generator 1

Valves & ShuttersPV1-PV3SH1-SH3

6

MFC 1

MFC 2

THROTTLE

LB2

Turbo Pump

Control Box

Modified: March 17, 2009

Digital Line

Analog Line

RS-232/485

USB 2.0

Legend

USB HUB

RS HUB

LJE1

BTRON

QCM

PRES 1

DRV1Enable

Substrate Rotation

2 RF Switch

Fig.7 Schéma du système de contrôle

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4.3 Interface Usager

4.3.1 Vue d’ensemble Le programme de contrôle est un exécutable utilisant la version 8.6 de LabView (National Instruments). L’exécutable est autonome et inclut une copie du moteur d’exécution LabView 8.6. Le système est conçu autour d’un modèle Maître – Esclave où l’ordinateur exécutant le logiciel LabView (maître) contrôle directement le générateur RF, les débitmètres, les valves pneumatiques et autres appareils externes.

4.3.2 Initialisation du Programme de Contrôle Avant de démarrer le logiciel, s’assurer que les boîtes SV100 (pompage et alimentations DC) est allumées et que la valve de régulation de la pression, la pompe turbo ainsi que le générateur RF sont alimentés. Ceci va permettre au logiciel de bien initialiser les composantes au démarrage. Pour démarrer le programme, utiliser le raccourci SPT320 sur le bureau. L’écran suivant apparaît:

Figure 8: écran de démarrage Le démarrage comprend 3 étapes:

(1) Ouverture de session

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(2) Initialisation des paramètres du logiciel (3) Initialisation des appareils

Si le mot de passe (8 caractères) est accepté, l’étape 2 est exécutée et la fenêtre de démarrage se ferme. Si c’est la première fois que le programme est utilisé, l’utilisateur peut entrer un mot de passe de son choix. Sinon, le mot de passe peut être changé en cliquant sur le bouton "Nouveau Mot de Passe" . À l’étape 2, le logiciel lit le fichier config.ini qui contient des paramètres globaux et certains paramètres d’appareils comme les Facteurs de Correction des Gaz et les débits maximum de chaque débitmètre. À l’étape 3, le programme utilise les paramètres chargés à l’étape 2 pour initialiser les appareils et l’interface usager à des valeurs de défaut sécuritaires. Si un appareil n’a pu être initialisé, un "-1" apparaît à l’affichage correspondant. Le programme va recommencer l’initialisation en mode furtif. Si, durant l’utilisation du système, le circuit de surveillance "watchdog" décèle un problème de communication, il va désactiver la sortie de puissance RF et le chauffage du porte-substrat ainsi qu’arrête les débits de gaz et ouvrir la valve de régulation de pression. La pompe turbo restera dans l’état où elle était. À ce moment-ci, l’utilisateur devrait fermer le système et identifier la source du problème. À noter que lorsque le système sera reparti, le "watchdog" sera toujours actif et une alarme va se faire entendre après environ 15 secondes ; il est donc préférable de démarrer le logiciel avant ce délai de 15 secondes. Note: Si le logiciel est démarré avant que la boîte de contrôle ne soit alimentée, le système watchdog ne sera pas activé et les appareils pourraient ne pas être initialisés correctement. L’écran Principal de l’Interface Usager est présenté à la figure 9.

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Figure 9: Écran Principal Toutes les valeurs mesurées sont montrées en vert. Toutes les valeurs de consigne sont montrées en jaune. Les lignes rouges reliant les fenêtres représentent les connections de gaz et d’eau entre les composantes. Les lignes de gaz tournent au vert et les lignes d’eau tournent au bleu quand il y a un débit mesuré dans ces lignes. Pour changer une valeur de consigne, entrez la valeur désirée (texte en jaune dans les fenêtres) et cliquez sur la touche "Entrée" ou cliquez sur l’écran à l’extérieur de la fenêtre pour enregistrer la nouvelle valeur. Notez que la Figure 9 montre l’écran quand les appareils n’ont pas été alimentés au préalable. Les valeurs de "-1" indiquent que ces appareils n’ont pas été initialisés.

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4.4 Description des Fonctions de Contrôle

4.4.1 Contrôle des débits

Figure 10: Contrôle du débit des gaz Dans les panneaux des contrôleurs de débit (MFC) de chaque ligne de gaz, SV est la valeur de consigne et PV est le débit mesuré en sccm. Sous ces valeurs, chaque panneau contient aussi un bouton pour la valve pneumatique d’ouverture de la ligne de gaz. Dans le schéma à droite des panneaux, on indique le débit mesuré et les états VP1 et VP2 des valves pneumatiques (la couleur verte indique une valve ouverte). Pour ouvrir ou fermer une valve pneumatique, il suffit de cliquer sur le bouton en bas des panneaux MFC. Pour changer le débit, cliquez sur la valeur existante de SV (en jaune) et entrez la nouvelle valeur. Notez qu’entrer une valeur non nulle de débit avant d’ouvrir la valve va créer une accumulation de gaz entre le MFC et la valve.

4.4.2 Contrôle de la Puissance RF

Figure 11: Panneau RF

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La première ligne du Panneau RF permet à l’usager d’entrer la valeur de consigne de puissance RF en watts. Les valeurs montrées pour FWD et RFL sont les mesures de la puissance incidente et réfléchie. L’indicateur INT montre l’énergie totale livrée par le générateur en Watt-heures. Cette valeur est gardée en mémoire quand le programme est fermé et s’accumule d’une session à l’autre; elle sert pour évaluer le temps de vie d’une cible du magnétron. Cliquez sur le bouton "Repartir INT" pour réinitialiser cet indicateur. Notez qu’il faut activer la sortie de puissance du générateur (bouton en vert à la droite du panneau) pour appliquer la valeur de consigne. Le bouton devient alors un bouton de désactivation et passe au rouge. Le générateur peut aussi être opéré à l’aide du panneau avant de l’appareil en désactivant le contrôle série (le bouton "Serial CTL" à la droite du panneau sera alors en vert). Sur l’écran principal, la connexion entre le panneau du générateur RF et le magnétron passe au bleu si l’eau de refroidissement circule bien. Un point d’exclamation va apparaître si la puissance réfléchie dépasse 2 watts. Si l’eau ne circule pas et qu’on applique quand même la puissance RF (une fenêtre d’avertissement apparaît au préalable), un "X" rouge et un point d’exclamation vont apparaître. Quand la puissance RF est appliquée et que le gaz circule, un nuage apparaîtra sous le magnétron. Ce nuage représentant un plasma ne garantie cependant pas la présence réelle d’un plasma produit par le magnétron dans la chambre (si la pression est trop basse par exemple, la décharge ne s’amorcera pas). 4.4.3 Contrôle de la rotation du porte-substrat

Figure 12: Panneau du porte-substrat Le panneau "Substrate Rotation" permet de contrôler la vitesse de la rotation.

4.4.4 Contrôle de la pression

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Figure 13: Panneaux de contrôle de la pression et de la pompe turbo Après injection de gaz dans la chambre, le contrôle automatique de la pression se fait par l’ajustement de l’ouverture d’une valve de régulation placée devant la pompe turbo. La pompe mécanique derrière la turbo est nécessaire au fonctionnement de celle-ci et sert aussi à réduire la pression dans la chambre avant de partir la turbo (après une mise à l’atmosphère par exemple). Sur le panneau de contrôle, la valeur de consigne SV est la pression désirée dans le mode de contrôle automatique de la pression. Les valeurs mesurées PV du Baratron et de la jauge indiquent la pression dans la chambre. Le Baratron est plus précis que la jauge sur sa gamme de lecture (maximum de 1 Torr). Le contrôle automatique de la pression se faisant à partir de la mesure provenant du Baratron, ce contrôle doit donc se faire de façon manuelle au-dessus de 1 Torr. La valeur de consigne " Valve SV " permet de régler manuellement la position de la valve de régulation en mode de contrôle manuel. Cliquer sur le bouton "PID CTRL " va activer le contrôle de pression automatique. Cliquer à nouveau va arrêter la valve à sa position actuelle. Sur la panneau de la pompe turbo, "Turbo Pump", le bouton "Start Pump" permet de mettre la pompe en marche (ce qui se fait après que la pompe mécanique ait suffisamment abaissé la pression dans la chambre lors du pompage initial). Les indicateurs de fréquence de rotation, de température, de courant, du nombre d’heures d’utilisation et de statut permettent de suivre les paramètres de fonctionnement de la pompe. S’il le désire, l’usager peu cliquer sur le bouton "Check Speed" pour voir la fréquence de rotation en temps réel. Ceci peut cependant prendre une dizaine de secondes pendant lesquelles la pompe ne reçoit plus de courant. Notez que si les pompes sont en fonction et qu’on ferme le programme de contrôle, les pompes ne s’arrêteront pas mais la valve de régulation va s’ouvrir complètement. Ceci permet de pomper pendant la nuit avec l’ordinateur fermé par exemple.

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4.4.5 Graphiques Pour voir la pression, la puissance RF, la température du porte-substrat et les débits de gaz sous formes graphiques, cliquez sur l’onglet Graphs à l’écran principal.

Figure 14: Page graphique Des outils de visualisation se trouvent dans le coin droit en bas de chaque graphique. Le nombre de secondes montrées dans le graphique peut être ajusté avec le contrôle "X Scale". Les données des dernières 3600 secondes sont gardées dans une mémoire tampon en mode boucle. L’échelle Y s’ajuste automatiquement par défaut mais ceci peut être désactivé en cliquant sur le bouton de droite de la souris et en décochetant "AutoScale Y".

4.4.6 Sauvegarde de données

Figure 15: Panneau de Sauvegarde de données

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Des données expérimentales telles que la pression ou le débit des gaz peuvent être sauvegardées à l’aide de l’interface usager. Pour activer la sauvegarde, cliquez sur le bouton Démarrer "Start" (un bouton rouge Arrêter "Stop" va alors apparaître qui permettra d’arrêter la sauvegarde). Pour changer le taux d’échantillonnage des données, entrez une nouvelle valeur dans le panneau et cliquez "Entrer" sur le clavier pour faire appliquer le changement. Le taux maximal est de 600 valeurs par minute. Pour changer le fichier de sauvegarde, cliquez sur le bouton avec l’icône de fichier et choisissez une fichier existant (qui sera réécrit) ou entrez un nom de fichier pour créer un nouveau fichier. Ceci peut être fait même si la sauvegarde est en cours. Le fichier de sauvegarde est en format CSV (comma-separated values) et peut être ouvert avec Microsoft Excel ou Open Office. La première colonne représente le temps en format Excel (jours depuis le 1er janvier 1900).

4.4.7 Mode Programmé

Figure 16: Panneau du Mode Programmé Ce panneau permet à l’usager d’utiliser un programme qui contient toutes les étapes d’un procédé. Le Temps Restant "Remaining time", l’étape et "STEP" est le numéro de boucle "Loop" (si existe). Plus de détails sont présentés dans la section Configuration d’un programme. Pour démarrer le programme couramment en mémoire, cliquez sur le bouton vert "Run". Ce bouton devient "Stop" et passe au rouge quand un programme est en exécution.

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Un programme peut être mis en pause en cliquant sur "Pause". Le bouton " Continue" qui apparaît en mode "Pause" permettra de poursuivre le programme. En mode Pause, les valeurs de consigne restent inchangées mais le décompte de durée s’interrompt. Lorsqu’un programme est en cours d’exécution, l’usager peut :

(1) Passer à une étape désirée en entrant le numéro de "Step" (2) Changer le temps restant en entrant une valeur de "Remaining Time" (en

secondes) (3) Changer une valeur de consigne quelconque (cette valeur est gardée jusqu’à la fin

de l’étape). Cliquer sur le bouton "Stop" vous sort du mode programmé et active les valeurs de consigne par défaut (toutes à zéro). Le contrôle de pression en mode automatique sera aussi désactivé. Quand un programme est exécuté au complet, le système va garder les valeurs de consigne de la dernière étape. L’usager doit s’assurer que cette dernière étape soit une mise à l’arrêt.

4.4.8 Entrée des paramètres d’un programme

Cliquez sur l’onglet Edit Program à l’écran principal pour charger, sauver ou modifier un programme.

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Figure 17: Page d’entrée des paramètres d’un programme Pour aller chercher un programme existant, cliquez sur le bouton "Open" ; le programme va être chargé et les étapes vont apparaître dans la Table de programmation. Les valeurs de la Table peuvent être changées en sélectionnant une valeur, en entrant la nouvelle valeur et en appuyant sur la touche de tabulation ou sur la touche "Entrée" du clavier. Des étapes peuvent être rajoutées en sélectionnant la prochaine étape dans la table et en cliquant sur le bouton "Insert Step". Pour enlever une étape, sélectionnez-la dans la table et cliquez sur "Remove Step". Pour sauvegarder un programme, cliquez sur le bouton "Save". Les programmes sont sauvegardés en format CSV et les étapes peuvent être facilement éditées avec Microsoft Excel ou Open Office si l’usager le préfère. Il faut cependant s’assurer de ne pas changer l’en-tête du fichier. Pour entrer les paramètres d’une étape de façon plus conviviale, sélectionnez l’étape et cliquez sur le bouton "Edit Step". Une nouvelle fenêtre s’ouvrira tel qu’illustré à la Figure 18.

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Figure 18: Fenêtre d’édition d’étape L’étape par défaut peut être chargée en cliquant sur "Load Default" et l’étape précédente peut être chargées en cliquant sur "Copy Previous". Pour sauvegarder les changements, cliquez sur "Apply", sinon cliquez sur "Cancel" ou fermez la fenêtre d’édition. Le fait d’entrer un Taux d’Échantillonnage de 0 va désactiver la sauvegarde de données pour cette étape. Le Mode de Contrôle "Position" pour la pression va garder l’ouverture de la valve de régulation à une valeur fixe choisie par l’usager alors que le Mode "Pressure" va permettre le contrôle automatique de la pression à la valeur de consigne choisie par l’usager à la ligne "Pressure" du tableau.

4.4.9 Sortie Cliquez sur le bouton rouge "Exit" pour arrêter le système et fermer le programme de contrôle.

4.5 Exécution du Programme

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Une fois la Table remplie, le programme peut être lancé à partir du panneau du Mode Programmé à l’écran principal. L’usager peut aussi démarrer le Programme à n’importe quelle étape en entrant le numéro de l’étape de départ désirée avant de cliquer sur "Apply". L’usager doit s’assurer que la dernière étape est sans danger.

4.6 Configuration de Paramètres

Figure 19: Fenêtre de Configuration de Paramètres Pour spécifier certains paramètres sans devoir ouvrir et éditer le fichier config.ini, cliquez sur l’onglet Configuration à l’écran principal. Cet onglet est protégé par le mot de passe : 8131 Les Paramètres à spécifier sont:

• MFC1 MAX & MFC2 MAX: la valeur maximale de débit pour chaque contrôleur (écrite sur une étiquette collée au contrôleur)

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• MFC1 CORREC. & MFC2 CORREC.: le facteur de correction des gaz pour

chaque contrôleur; ce facteur est 1 sauf si le contrôleur de débit est utilisé avec un autre gaz que celui pour lequel il a été calibré (un liste de facteurs de correction se trouve à la fin du manuel des contrôleurs de débit)

• Pressure Kp, Ki, Kd: les paramètres de gain proportionnel, intégral et différentiel

pour le contrôle automatique de la pression

• QCM, Target1..3, Density1..3, Z-factor 1..3 et Tooling 1..3, sont les paramètres utilisé pour identifier chaque cible

• ALARMS indique les ETATS des alarmes, WFS (Water Flow Switch),

ILK_DOOR (porte ouvert), RF1_pressure (haute pression pour démarrage RF), RF1 (interlock communication), LB_1,2 (communication I/O data), Turbo, Program (rouge si un alarme arrête l`exécution de la programme)

Tout changement à une de ces valeurs est appliqué immédiatement et sera sauvegardé dans le fichier config.ini lorsque l’usager sortira du programme.

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5. Opération

Avant de commencer le pompage de la chambre, assurez-vous que la valve de régulation de la pression soit ouverte (pour éviter un différentiel de pression au

travers d’une valve de régulation fermée). 5.1 Insertion d’un substrat Toujours porter des gants appropriés lorsque des manipulations doivent être faites à l’intérieur de la chambre!

- Ouvre la porte de la chambre de dépôt - Placez le ou les échantillons sur le porte-substrat. - Fixez les échantillons en place, si nécessaire. - Refermez la chambre - Démarrer la pompe mécanique en s’assurant que la valve de régulation soit

ouverte. - Démarrez la pompe turbo quand la pression passe sous les 10 Torr. - Normalement, la pression descend dans les 10-6 Torr après une trentaine de

minutes.

NOTE: la pression de base va dépendre des conditions de paroi. 5.2 Débuter un procédé de dépôt

• Assurez-vous que les boîtes de contrôle, le générateur RF et le contrôleur d’impédance sont allumés.

NOTE: après avoir allumé les boîtes de contrôle, un délai de 15 à 30 minutes est nécessaire avant de pouvoir commencer le procédé. Ce délai permet aux contrôleurs de débit et à la jauge Baratron d’atteindre leurs températures de fonctionnement.

• Assurez-vous que les bouteilles de gaz sont ouvertes et que l’air comprimé se rend au système.

• Assurez-vous que l’eau de refroidissement circule • Si nécessaire, faites le zéro sur la jauge Baratron quand la pression est sous les

10-5 torr. • Si la cible du magnétron est nouvelle, réinitialisez l’indicateur de temps de vie

"INT".

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5.3 Séquence d’opération typique (mode semi-manuel)

• La pression de base devrait être dans les 10-6 Torr. • Ajustez la valeur de consigne de la valve de régulation à 0% (complètement

ouverte) à l’écran et mettre l’appareil de contrôle de la valve dans le cabinet d’instrumentation en mode "remote" si ce n’est pas déjà fait.

• Identifiez le magnétron à utiliser • Ouvrez la cache du magnétron. • Ouvrez la (les) valve(s) pneumatique(s) pour les gaz utilisés. • Entrez les valeurs de consigne des contrôleurs de débit (garder le débit total des

gaz à moins de 40 sccm va augmenter la durée de vie des roulements de la pompe turbo).

• Entrez la valeur de consigne de pression, mettre la valve de régulation en mode automatique et attendez que la pression se stabilise près de la valeur désirée (notez que la position de la valve peut être lue sur le contrôleur dans le cabinet d’instrumentation).

• Démarrez la rotation du porte-substrat si désiré. • Appliquez la puissance RF (environ 20-50 watt) pour démarrer la décharge

magnétron. NOTE: il est parfois utile, pour démarrer la décharge, d’augmenter la pression temporairement en fermant la valve pneumatique et en la ré-ouvrant après quelques secondes. • Assurez-vous que la puissance réfléchie est près de zéro. NOTE: quand la chambre a été exposée à l’atmosphère, l’usager peut faire fonctionner le magnétron pendant quelques minutes avec la cache fermée pour nettoyer la surface de la cible du magnétron. • Ajustez la puissance RF du magnétron à la valeur désirée pour le procédé tout en

vérifiant que la puissance réfléchie reste près de zéro. • A la fin du procédé, arrêtez la puissance RF • Mettez la valve de régulation en mode de position fixe, complètement ouverte

(0% de valeur de consigne). • Arrêtez les débits de gaz et fermez les valves pneumatiques • Quand l’expérience est complètement terminée, fermez ce qui avait été ouvert

initiallement pour le procédé (voir section 5.2). 5.4 Mode programmé Les paramètres d’un procédé peuvent aussi être programmés, sauvegardés et le procédé peut être exécuté en cliquant sur un seul bouton (voir la section 4 pour les détails de la

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programmation). Même quand le procédé est en cours, il est toujours possible de changer la pression, la puissance RF ou les débits de gaz d’une étape du programme à partir de l’interface usager. Ces nouvelles valeurs ne sont pas gardées pour la prochaine étape, où les valeurs de consigne entrées lors de la programmation entre en vigueur. 5.5 Amener la chambre à la pression atmosphérique

• Assurez-vous que la valve de régulation soit ouverte. • Arrêtez la pompe turbo et mettez 30 sccm de débit d’argon pour ralentir la

rotation des pales de la pompe de façon controlée; cette rotation s’arrête après environ 10 minutes.

• La pression va augmenter à mesure que la pompe ralentira et elle va se stabiliser lorsque les pales auront arrêté de tourner.

• Après 10-15 minutes, arrêtez le débit d’argon, fermez la valve pneumatique de la ligne de gaz et arrêtez la pompe mécanique.

• Utilisez la valve manuelle de mise à l’atmosphère pour remplir la chambre d’azote.

NOTE: si une bonbonne d’azote pressurisée est utilisée pour la mise à l’atmosphère, il faut s’assurer que le régulateur de pression de la bonbonne soit ajusté à environ 15 PSI (1 bar au-dessus de la pression atmosphérique) pour éviter de surpressuriser la chambre.

Même si une valve de sécurité empêchant la surpression est installée sur la chambre, il est recommandé de desserrer la vis de la grande porte avant lorsqu’on met la chambre à l’atmosphère. 5.6 Changement de la cible du magnétron Des gants appropriés doivent être portés lors de manipulations à l’intérieur de la chambre. Pour enlever la cible du magnétron, ouvrez la cache, déserrez la bague arrière et dévissez la partie cylindrique extérieure (ANODE) du magnétron. S’il est difficile de faire ces opérations de l’intérieur, fermez la cache et retirer le magnétron de la chambre à vide pour faire le changement de cible. Utilisez ensuite une clé hexagonale pour retirer les 4 vis de l’anneau qui soutient la cible.

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Pour une cible magnétique, il faudra glisser la cible sur la base de cuivre avant de pouvoir l’enlever.

Profitez de cette opportunité pour enlever les dépôts sur l’anode, le tube anti-contamination et la cache.

Ce nettoyage réduira la possibilité de décollement des dépôts accumulés et, par conséquent, de court-circuit entre anode et cathode. Après avoir remplacé la cible, revissez l’anode ("couvert") jusqu’à ce que l’espacement entre la pièce qui soutien la cible et l’anneau intérieur de l’anode soit d’environ 0.8 mm (un outil de cuivre pour mesurer cet espacement a été fourni). Si une cible d’épaisseur différente est utilisée, il faut utiliser un anneau de support de cible approprié pour cette épaisseur et 4 vis de longueur appropriée. Toujours s’assurer que la cible est bien pressée contre la base de cuivre (qui est refroidie).

6. Entretien du Système Le système SPT320 exige peu d’entretien et quelques procédures simples, appliquées régulièrement, vont assurer un bon contrôle de la qualité des dépôts produits. Chambre à vide De temps à autre, inspectez les parois internes de la chambre pour détecter des évidences de décollement des dépôts accumulés. Les parois devraient alors être nettoyées suffisamment pour minimiser la dégazage de la parois L’utilisation de doublures (en acier inoxydable ou en aluminium) recouvrant les parois internes de la chambre permet de simplifier le nettoyage puisqu’il suffit alors de retirer les doublures et de les nettoyer ou de les remplacer. Fenêtre de visualisation Une mince feuille de Mylar transparent placée sur la surface interne de la fenêtre de visualisation la protégera des dépôts. Cette feuille peut être remplacée lorsqu’il devient plus difficile de voir à l’intérieur de la chambre. Pompe turbo-moléculaire

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L’usager est prié de consulter la manuel d’instructions de la pompe turbo pour connaître son mode d’utilisation optimal et son calendrier d’entretien. Pompe mécanique Remplacez l’huile de pompe si elle devient de couleur foncée. Consultez le manuel d’instruction pour plus de détails. Si un filtre a été placé dans la ligne de pompage, nettoyez-le de temps à autre. Système de refroidissement à l’eau Utilisez de l’eau avec une résistivité élevée mais n’utilisez pas de l’eau dé-ionisée pour l’eau de refroidissement. La pression à l’entrée d’eau sur le système devrait être dans la gamme 40-60 psi. Il est recommandé de placer un filtre dans la ligne de circulation d’eau en amont du connecteur d’entrée. Si un des senseurs de débits d’eau se bloque à cause d’une particule non filtrée, il suffit d’ouvrir le senseur et de le nettoyer. Notez que les fils noir et orange sont court-circuit quand le débit d’eau est assez élevé pour activer le senseur. On recommande de vider l’eau du circuit de refroidissement si le système ne sera pas utilisé pour une longue période de temps (un mois ou plus).

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7. Liste des Pièces

SPT320-H - System Components Ref. Description MGF Series MFC1 Mass Flow Controller 1 MKS M100B MFC2 Mass Flow Controller 2 MKS M100B PRES1 Universal Pressure Gauge (SPT) KJLC 979 BTRON Baratron (SPT) MKS 626A RF1 Magnetron 1 RF Generator (FBR) Seren RF301 WFS1 Magnetron 1 Water Flow -- -- WFS2 Magnetron 2 Water Flow -- -- WFS3 Magnetron 3 Water Flow -- -- MANIFOLD Air Manifold SMC VQ1000 VP1 Pneumatic Valve 1 -- -- VP2 Pneumatic Valve 2 -- -- VP3 Pneumatic Valve 3 -- -- SH1 Pneumatic Shutter 1 -- -- SH2 Pneumatic Shutter 2 -- -- SH3 Pneumatic Shutter 3 -- -- TURBO Turbomolecular Pump Varian TV301

THROTTLE Throttle Valve Vacuum Research ThrottleMaster

QCM Thin Film Thickness Monitor Sycon STM-1

PWR BAR Power Bar 120VAC 30A GEIST VRELN100-103C13TL5

DOOR ILK LEVER SWITCH SPST-NO OMRON D2FW-G073M DC MOTOR DC Motor Substrate Rotation Oriental AXH

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Temperature Control Box Model: H100 Serial: HC-06 Voltage: 240VAC Current: 15A Freq: 50Hz Phase: 1

REF MGF Model # Description

-- Hammond RMCV190513BK1 RACK DESK VENTED BLK 5.25X19X13"

Back Panel

FAN NMB Technologies 3610PS-23W-B30 FAN AC AXIAL 230V 92X25 3100 RPM

FAN Qualtek 08174 FINGER GUARD 92MM METAL

J1 Tyco Electronics 10ED1C MODULE POWER ENTRY ISOL TERM 10A

J2 AMP Connectors 206036-2 Series 3 CPC SQR Flange (STD) RECEPT

J2 AMP Connectors 66261-2 Type XII Power Contacts, Male

J3 AMP Connectors 206425-1 Series 3 CPC SQR Flange (RVS) RECEPT

J3 AMP Connectors 66740-6 Type XII Power Contacts, Female

J4 Omega RMJ-K-S PNL MOUNT THERMOCOUPLE SOCKET

J5-J6 Tyco Electronics 5-747905-2 CONN D-SUB RECPT 9POS AU FLASH

F1-F3 Littelfuse Inc 03453LS2H FUSEHOLDER 3AG PNL MNT STRAIT

SW3 Tyco Electronics W91-X112-15 Magnetic Hydraulic Circuit Breaker 15A (Slow)

Front Panel -- Richelieu BP33203140 D PULL 3" (8/32) CHROME DS1 Mode Electronics 55-445-0 NEON PILOT LAMP GREEN DS2 Mode Electronics 55-443-0 NEON PILOT LAMP AMBER

R1-R2 Yageo CFR-25JB-100K RES 100K OHM 1/4W 5% CARBON FILM

SW1-SW2 Telemecanique ZB4BZ101

SW BASE WITH 1 N.O. BLOCK 22mm

SW1 Telemecanique ZB4BD2 SW SELECTOR 2 POS 22mm

SW2 Telemecanique ZB4BA2 SW PUSH BUTTON MOMENTARY 22mm

Inside

RL1 Omron Electronics G7L-1A-TUB-J-CB-AC200/240

RELAY PWR SPST 30A 220VAC QC

RL2 Tyco Electronics KUHP-5D51-24 RELAY PWR SPDT 30A 24VDC .250"QC

RL3 Omron Electronics G3NA-225B DC5-24 RELAY SSR 120VAC@25A

39

ZERO DC IN

HS1 Crydom Co. HE-54 HEATSINK FOR SSR 0-50A 5.5"X4.8"

TC1 Omron E5CN-Q2MT-500 TEMPERATURE CONTROLLER RS-485

-- Molex 38770-0110 CONN BARRIER STRIP 10POS .375"

Fuses

F1 LittelFuse 0312.500HXP FUSE 250V FAST 3AG .500A CART

F2 LittelFuse 0326.175HXP FUSE 250V SLO-BLO 3AB .175A CART

F3 LittelFuse 312001.HXP FUSE 250V FAST 3AG 1A CART

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Temperature Control Box

Model: SV100 Serial: SV-09 Voltage:120VAC Current: 10A Freq:60Hz Phase:1

SPT320-H - Power Supply Box REF MGF Model # Description -- Hammond RMCV190513BK1 RACK DESK VENTED BLK 5.25X19X13" Front Panel -- Richelieu BP33203140 D PULL 3" (8/32) CHROME SW2-SW4 Omron Electronics A165L-AGA-24D-2 SWITCH PB ILLUM SQR ALT DPDT GRN D1-D3 Dialight 609-2212-140F LED PNL MT 9MM 24V CHROME GREEN SW1 Telemecanique ZB4BZ101 SW BASE WITH 1 N.O. BLOCK 22mm SW1 Telemecanique ZB4BD2 SW SELECTOR 2 POS 22mm SW1 Telemecanique ZBE101 SW CONTACT BLOCK 1 N.O. 22mm Back Panel J1 Tyco Electronics 15ED1 FILTER LINE RFI COMPACT .250 15A

FAN Sunon Fans SF11592A-1092HBL.GN FAN 115VAC 92 X 25MM 37CFM

FAN Qualtek 08174 FINGER GUARD 92MM METAL J2-J6 Schurter Inc 6600.3100 MODULE PWR OUTLET SCREW-ON F1-F7 Littelfuse Inc 03453LS2H FUSEHOLDER 3AG PNL MNT STRAIT -- Tyco Electronics 5-747905-2 CONN D-SUB RECPT 9POS AU FLASH -- Tyco Electronics 5-747909-2 CONN D-SUB RCPT 15POS GOLD FLASH Inside PS1 V-Infinity VSBU-120-24 POWER SUPPLY W/PFC 120W 24V PS2 Condor GLC110-215G PWR SPLY SWITCHER 110W MULTI PS1,PS2 Tyco Electronics 770476-1 CONN SOCKET 18-24AWG SL156 TIN PS1,PS2 Tyco Electronics 640250-5 CONN RECEPT 5 POS W/RAMP SL-156 PS1,PS2 Tyco Electronics 1-640250-3 CONN RECEPT 13POS W/RAMP SL-156 RL1-RL4 Tyco Electronics KUHP-5A51-120 RELAY PWR SPDT 30A 120VAC.250"QC

R3 Huntington Electronics TMC50-20 RES ALUM HOUSED 20 OHM 50W 1%

F4 Cooper/Bussmann BM6031SQ FUSE BLOCK 1POS FOR 13/32X1-1/2 Transformerless 24V C1,C2 Panasonic - ECG ECQ-B2474JF CAP .47UF 200V B SERIES POLY

R1,R2 Vishay/BC Components PR01000101201JR500 RES 1.2K OHM METAL FILM 1W 5%

D4,D5 Fairchild Semiconductor 1N4007 DIODE GPP 1A 1000V DO41

-- Molex 38770-0110 CONN BARRIER STRIP 10POS .375" Fuses F1 LittelFuse 0326.175HXP FUSE 250V SLO-BLO 3AB .175A CART F2 LittelFuse 031201.5HXP FUSE 250V FAST 3AG 1.5A CART F3 LittelFuse 031201.5HXP FUSE 250V FAST 3AG 1.5A CART

41

F4 -- -- -- F5 LittelFuse 0326004.HXP FUSE 250V SLO-BLO 3AB 4A CART F6 LittelFuse 031201.5HXP FUSE 250V FAST 3AG 1.5A CART F7 -- -- -- F8 Cooper/Bussmann FNQ-R-1-1/4 FUSE 1.25A 600V TLAG UL CSA

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SPT320-H - Control Box Model: CO1000 Serial: CO-09 Voltage:-15 to 24V Current: 10.5A MAX Freq:DC

REF MGF Model # Description -- Hammond RMCV190513BK1 RACK DESK VENTED BLK 5.25X19X13" Back Panel USB Amphenol MUSB-A311-30 CONN RCPT USB TO USB SGL STD J1-J7 Tyco Electronics 5-747905-2 CONN D-SUB RECPT 9POS AU FLASH

J8-J13 Tyco Electronics 5-747909-2 CONN D-SUB RCPT 15POS GOLD FLASH

J14-J18 Tyco Electronics 5-747913-2 CONN D-SUB RCPT 25POS AU FLASH MF_CON_1-2 Plasmionique E-CIR-MF1 CONN MKS MFC DB15

FAN NMB 3610KL-05W-B50-D00 FAN DC AXIAL 24V 92X25 3200 RPM

FAN Qualtek 08174 FINGER GUARD 92MM METAL Inside RS HUB SeaLevel Systems SeaLINK+4 USB to RS-232, RS-422, RS-485

USB HUB SeaLevel Systems 270U-OEM Optically Isolated 7-Port USB Hub LB1-LB4 LabJack U12 USB DAQ and Control device LJE1 Plasmionique E-CIR-LJE1 LABJACK EXTENDER 24V

DVR1 Oriental Motors AXH015K-30 DC BRUSHLESS MOTOR & DRIVER 24V

-- Keystone Electronics 8417 STANDOFF HEX M/F 6-32 .875" ALUM

FB1,FB2 Plasmionique E-CIR-FB1 TE5 FUSE BOARD 10 POS -- Molex 38770-0110 CONN BARRIER STRIP 10POS .375" -- AMP 1487586-2 0.25m USB Cable (A to B Male) White Cables Description

USB Assmann Electronics AK670/2-1-R CABLE USB A-A MALE 1M 2.0 VERS

Fuses F1 LittelFuse 39502000440 FUSE FAST 200MA SHORT UL TE5 F2 LittelFuse 39502000440 FUSE FAST 200MA SHORT UL TE5 F3 LittelFuse 39501000440 FUSE FAST 50MA SHORT UL TE5 F4 -- -- -- F5 -- -- -- F6 LittelFuse 39502000440 FUSE FAST 200MA SHORT UL TE5 F7 LittelFuse 39502000440 FUSE FAST 200MA SHORT UL TE5 F8 LittelFuse 39501000440 FUSE FAST 50MA SHORT UL TE5 F9 -- -- -- F10 -- -- -- F11 LittelFuse 39512000440 FUSE FAST 2.00A SHORT UL TE5

43

F12 LittelFuse 39505000440 FUSE FAST 500MA SHORT UL TE5 F13 LittelFuse 39511000440 FUSE FAST 1.00A SHORT UL TE5

F14 LittelFuse 39602000440 FUSE TIME-LAG 200MA SHORT UL TE5

F15 LittelFuse 39512000440 FUSE FAST 2.00A SHORT UL TE5

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PLASMIONIQUE Custom Boards

LJE Board Rev. 1 E-CIR-LJE1 Ref. MGF Model # Description

J1,J2 FCI 68602-116HLF CONN HEADER 16POS .100 STR 30AU

J1,J2 3M D89116-0131HK CONN 16POS IDC SOCKET 10AU W/POL

J3 Phoenix Contact 1984015 CONN TERM BLOCK PLUG 2POS 3.5MM

J3 Phoenix Contact 1945096 TERM BLOCK HEADER 2POS 3.5MM BLK

J4,J7 Phoenix Contact 1984154 CONN TERM BLOCK PLUG 16POS 3.5MM

J4,J7 Phoenix Contact 1945232 TERM BLOCK HEADER 16POS 3.5MM BLK

J5,J6 Phoenix Contact 1984099 CONN TERM BLOCK PLUG 10POS 3.5MM

J5,J6 Phoenix Contact 1945177 TERM BLOCK HEADER 10PS 3.5MM BLK

P1 Tyco Electronics 1734350-1 CONN DSUB RCPT R/A 25POS GOLD/FL

P1 CW Industries CWR-280-25-0203 CONN DB25 MALE TIN W/STR RELIEF

JP1-JP4 FCI 68001-112HLF CONN HEADER 12POS .100 STR 30AU

JP5-JP9 FCI 67996-106HLF CONN HEADER 6POS .100 STR 30AU

JP1-JP9 Sullins Connector Solutions S9001-ND

CONN JUMPER SHORTING GOLD FLASH

B1 CUI Inc CEM-1205C BUZZER MAGNETIC 5VDC 12MM PCMNT

C1-C4 Vishay K104Z15Y5VF5TH5 CAP .10UF 50V CERAMIC +80/-20%

D1 ON Semiconductor 1N4005G DIODE STD REC 1A 600V AXIAL

K1 Omron Electronics G6E-134P-ST-US-DC5

RELAY SPDT PCB 2A 5VDC

K2-K5 Hamlin Electronics HE721C2410 RELAY REED DIP SPDT-CO W/DIO 24V

U7 NEC PS2501-4-A OPTOCOUPLER 4CH TRANS 16DIP

U7,RS1,RS2 Aries Electronics 16-3518-10 16 PIN SOLDER TAIL DIP SOCKET

U3,U4 Intersil CA3140AEZ IC OPAMP BIMOS 4.5MHZ 8DIP

U3,U4 Aries Electronics 08-3518-10 8 PIN SOLDER TAIL DIP SOCKET

U2 Toshiba TD62083APG IC DRIVER DARL SINK 8-

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CH 18-DIP

U6 Toshiba TD62783APG IC DRIVER DARL SOURCE 8CH 18-DIP

U2,U6 Aries Electronics 18-3518-10 18 PIN SOLDER TAIL DIP SOCKET

Q1,Q2 Fairchild Semiconductor 2N4124BU IC TRANS NPN SS GP 200MA TO-92

R1-R4 Vishay CMF502K0000FHEB RES 2.00K OHM 1% 50PPM 1/4W

R16 Vishay CMF50100R00FHEB RES 100 OHM 1% 50PPM 1/4W

R5,R6,R9,R10 Vishay CMF50100K00FHEB RES 100K OHM 1% 50PPM 1/4W

R7,R11 Vishay CMF5013K000FHEB RES 13.0K OHM 1% 50PPM 1/4W

R13,R14,R15 Vishay CMF551M0000FHEBRES 1.00M OHM 1% 50PPM 1/2W

R8,R12 Vishay T93YB103KT20 POT 10K OHM TRIM 21TRN TOP ADJ

RS1,RS2 Bourns 4116R-1-101LF RES NET ISOLATED 100 OHM 16-DIP

Board APCircuits -- Circuit Board

MFC Board Rev. 1 E-CIR-MF1 Ref. MGF Model # Description





J3 Tyco Electronics 5747845-3 CONN D-SUB RCPT R/A 15POS GOLD


Fuse Board Rev. 0 E-CIR-FB1 Ref. MGF Model # Description

J1-J4 Phoenix Contact 1984044 CONN TERM BLOCK PLUG 5POS 3.5MM

J1-J4 Phoenix Contact 1945122 TERM BLOCK HEADER 5POS 3.5MM BLK

F1-F10 Wickmann USA Inc 56200001009 FUSEHOLDER TE5 MACHINE CONTACTS


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WIRES and CABLES

MGF Model # Description Olympic Wire & Cable 350 24 AWG Hookup Wire 100' Olympic Wire & Cable 363 18 AWG Hookup Wire 100' Olympic Wire & Cable 364 16 AWG Hookup Wire 100' Olympic Wire & Cable 365 14 AWG Hookup Wire 100' Cable List REF MGF Model # Description

PSU PWR Volex 2119H 10 C3 UNIVERSAL JUMPER CORD 10A 2M

MECH PWR Volex 2143H 10 C3 UNIVERSAL JUMPER CORD 10A 2.5M

TURBO PWR Volex 2143H 10 C3 UNIVERSAL JUMPER CORD 10A 2.5M

THROTTLE PWR Volex 2119H 10 C3 UNIVERSAL JUMPER CORD 10A 2M

RF1 PWR Volex 2117H 10 C3 UNIVERSAL JUMPER CORD 10A 1M

MATCH1 PWR Volex 2117H 10 C3 UNIVERSAL JUMPER CORD 10A 1M

PUSHBUTTON Volex 2117H 10 C3 UNIVERSAL JUMPER CORD 10A 1M

COMPUTER Volex 2119H 10 C3 UNIVERSAL JUMPER CORD 10A 2M

MONITOR Volex 2119H 10 C3 UNIVERSAL JUMPER CORD 10A 2M

Data Cables

USB Assmann Electronics AK670/2-1-R CABLE USB A-A MALE 1M 2.0 VERS

RF COMM. EMERSON 28 AWG DB9M/M 10 Ft TURBO COMM. EMERSON 28 AWG DB9M/M 10Ft QCM COMM. EMERSON 28 AWG DB9M/M 10Ft RF SWITCH EMERSON 28 AWG DB9M/F 10Ft MANIFOLD EMERSON 28 AWG DB25M/F 10Ft RF1 ANALOG EMERSON 30-9506MM 28 AWG DB25M/M 6Ft DC MOTOR 24 AWG DB9M/F 10Ft

PRES1 24 AWG DB15M/DB15F-HD ?Ft

THROTTLE 24 AWG DB9M/DB9M 10Ft

DC PWR 24 AWG DB15M/DB15M 10Ft

WFS 24 AWG DB15M/DB15M 10Ft

BTRON 24 AWG DB15M/DB15F 10Ft MFC1 24 AWG DB15M/DB15F 10Ft MFC2 24 AWG DB15M/DB15F 10Ft

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