oil-sealed rotary vacuum pumps²¹回転真空...4 油ドレン弁 油面計 掃除口 排気弁部...

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Osaka Vacuum Osaka Vacuum Osaka Vacuum, Ltd. 株式会社 大阪真空機器製作所 Oil-sealed Rotary Vacuum Pumps 02 RP 04

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Page 1: Oil-sealed Rotary Vacuum Pumps²¹回転真空...4 油ドレン弁 油面計 掃除口 排気弁部 効果的な油回収と 簡単な油状況の確認 効率の良い油セパレータ

Osaka VacuumOsaka Vacuum

Osaka Vacuum, Ltd.

株式会社 大阪真空機器製作所

Oil-sealed Rotary Vacuum Pumps

02-RP-04

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構造の違いで分類すると、代表的なものでは、揺動ピストン形(Kinney type)、回転翼形(Gaede type)、

カム形(Cenco type)などがあります。また、ベルト駆動とモータ直結型とに分類できます。

大阪真空のPシリーズ/Kシリーズは、揺動ピストン形・ベルト駆動を採用しています。揺動ピストン形は

耐久性に優れ、構造上、吸入空間を大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造

です。

また、大阪真空の油回転真空ポンプは、精密かつ堅牢な設計で、さらにメンテナンスしやすい構造となって

いますので、適切なメンテナンスをして頂くことにより20年、30年といった長期間ご使用いただいて

いる例もあります。

大気圧まで圧縮できる機械式真空ポンプの中でも、油回転真空ポンプは、

経済的、効率的、かつ簡易な設備で運転できるため、世界中で広く使用されています。

ポンプ単体で簡単に真空状態を得ることができるほか、

ルーツ真空ポンプと組合せて大容量の真空ポンプユニット(真空システム)として、

また真空設備の粗引用ポンプとして、など幅広く使用されています。

このように油回転真空ポンプは幅広い用途に対応しており、

自動車、金属、鉄鋼、包装、食品、医薬品、医療、

電気、電子、半導体、先端研究分野まで、

あらゆる真空ニーズで活躍しています。

大阪真空の油回転真空ポンプ

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Oil-sealed Rotary Vacuum PumpsOsaka Vacuum, Ltd.

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 標準の油タンクに変えて、加熱分離器を付けたポンプです。  加熱分離器に内蔵した蒸気式ヒータ(特注:電気ヒータ)により、ポンプから排出されるポンプ油を加熱して、混入している水分や溶剤を沸点差により蒸発分離させます。浄化された油は、オイルクーラを通して冷却後、ポンプ本体に戻します。  水分や溶剤などが混入しているガスを排気する場合に有効です。

加熱分離式油回転真空ポンプ[P-WSタイプ]

特殊な油回転真空ポンプ

 通常、大阪真空の油回転真空ポンプは、ポンプ油を循環使用しています。しかしながら、油の潤滑性を失わせたり、ポンプ内部を腐食させたりするようなガスを吸引する場合、油をそのまま循環使用すると、ポンプを損傷してしまいます。  注油式油回転真空ポンプは、排出された油をポンプ本体に戻さず排油タンクに貯め、新しい油をポンプ本体に定量ポンプで注油します。  使用済みポンプ油は、再生処理により再利用できる場合もあります。

注油式油回転真空ポンプ[PLタイプ]

 油回転真空ポンプは、ルーツ真空ポンプや油拡散真空ポンプ、ターボ分子ポンプなどと組み合わせて、真空システムとして使用することもよくあります。大阪真空は、長年の実績に裏付けされた真空システムの構築技術と、豊富な真空ポンプラインアップにより、ニーズに合わせた最適な真空機器を選択し、適切な真空システムを提供します。

真空システム

 大型の油回転真空ポンプで得られる排気速度は、圧力領域によっては小型の油回転真空ポンプとルーツ真空ポンプの組み合わせで得られることもあります。  例えば、5Pa程度の圧力領域で450m3/h程度の排気速度が必要な場合P901(22kW)で得られますが、P90(2.2kW)+RD600(2.2kW)でも得ることができ、しかも到達圧力が一桁程度良くなります。また、油回転真空ポンプが小型になることにより、初期設備費、運転費、メンテナンス費を抑えることが可能です。ただし、この場合は初期排気時間が長くなるというデメリットがあります。  このように、使用条件によって最適な真空ポンプは異なります。大阪真空は、必要な真空排気条件に応じて、適切な組み合わせを提案します。

必要な真空環境に応じて…

 油回転真空ポンプの到達圧力は、ポンプ油の蒸気圧に影響されます。蒸気圧以下ではステータ内でポンプ油自体が蒸発するため、到達圧力は蒸気圧以下にはなりません。  より高真空が必要な場合、ルーツ真空ポンプや、油拡散真空ポンプ、ターボ分子ポンプと組み合わせて使用します。それぞれに特長があり、必要な真空環境に応じて適切な組み合わせを提案します。

より高真空が必要なとき…

 他にも、ポンプ油が劣化しやすい用途で焼付きを防止するPEタイプなど、用途に応じた特殊真空ポンプによって、化学品や医薬品の真空濃縮・晶析あるいは水分や有機溶剤の除去、乾燥、果汁の低温濃縮、重電機器の真空乾燥処理など、水分を多く含む空気や有機溶剤蒸気を吸引する場合などに対応できます。

5

5

100101

102

RD600+P90P901

P90

5

103

5

104

5 101 5 102 5 103 5 104 5 105

排 気 速 度

Pumping Speed m

3/h

吸 気 口 圧 力 Suction Pressure

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Oil-sealed Rotary Vacuum PumpsOsaka Vacuum, Ltd.

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大阪真空の油回転真空ポンプの特長 大阪真空の油回転真空ポンプの特長

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 高圧運転(大気圧~10kPa)時には、ステータ内部からポンプ油が多量に排出されます。この時、ポンプ油の供給が

不十分であれば、ステータ内部の油が減少し、場合によっては油がなくなりロータが焼き付き、ポンプ故障の原因と

なります。

しかし、大阪真空の油回転真空ポンプは最高13kPa(98Torr)*の高圧運転時でも安定したポンプ油の供給ができ、

連続運転が可能です。 *:空冷形は7kPa(53Torr)、K30002は油クーラを使用して4kPa(30Torr)。詳細はお問合せ下さい。

 大阪真空の油回転真空ポンプは、吸気口圧力が88kPa(660Torr)あたりの領域でも油タンクからステータへ給油

できるので、大型容器を真空排気し、また大気圧に戻すというプロセスを間断なく繰返すような過酷な

用途でも、油切れによる焼き付き事故を起こしにくくなっています。合成繊維などの真空調湿機、医療衛生材料の

真空滅菌機、金属熱処理用ガス発生機、食品の真空包装機、電子ビーム溶接のチャンバー排気など、タクトタイムを

重視する用途に最適です。

 油回転真空ポンプは、到達圧力に近づくにつれて排気弁部の排気音が大きくなります。

大阪真空の油回転真空ポンプは、独自の設計によって排気音を低減しました。また、騒音低減弁(オプション)の取り

付けや、低騒音型油回転真空ポンプ(特殊仕様)を使用することにより、さらに排気音の低減が可能です。

 大阪真空の油回転真空ポンプは、偏心ロータ、プーリ、ホイールのバランスを最適化設計することによって、振動を

最小限におさえました。

高圧(低真空領域)での連続運転が可能

過酷な繰返し運転に耐える

様々な運転条件に対応

静かな運転

 大阪真空の油回転真空ポンプは、軸受部がポンプ油系統とは独立しており、潤滑にはグリスを使用しています。

またガス流路とも分断されているので、吸引ガスによる影響も受けません。このように軸受機構は独立している

ので、吸引ガスや汚染された油によって軸受やグリスが損傷を受けにくい構造になっています。

独立した軸受機構

低騒音設計

低振動設計

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油ドレン弁

油面計

掃除口

排気弁部

効果的な油回収と 簡単な油状況の確認

●効率の良い油セパレータ

 油タンク内には効果的な油セパレータを内蔵しており、気体と一緒に排出された油を

 効率よく分離・回収できます。  低真空での連続運転や大気・真空の繰り返し運転を行った場合、ポンプ油が多量に  排出されます。しかし、油セパレータによって排出された油を分離・回収するので、  排出量が抑えられ環境への影響は軽減されます。また、分離した油は給油配管を通じて ステータ内へ戻るので、ポンプ油の減少も軽減されます。

●油量の確認がしやすい大型の 油面計

 直径10cm(K30002は長方

形4×34cm)の油面計によって、

運転中に油量や汚れ具合が簡単

に確認できます。また透明窓は

取り外し可能で、内側の汚れを

簡単に拭き取れます。

●給油状況の確認がしやすいサイトグラス

 給油配管にはフラッパ式のサイトグラスが付いており、油の流れる様子と油の汚れ具合が確認できます。

●取替が簡単な軸封部品

 軸封部のオイルシールと

 回転する軸との接触面は、

 両方が摩耗します。大阪真空

 の油回転真空ポンプは軸封 環を使用していますので、  摩耗が進んでも軸封環を 取り替えるだけで済みます。

●掃除しやすい油タンク

 ステータから排出されたポンプ油は、油タンクで回収しステータに

 戻ります。しかし、長期間使用するとポンプ油は徐々に汚れますので、 定期的に交換が必要です。また、油タンク底部には錆や粘着物が 溜まり油を汚す原因になるので、定期的に清掃が必要です。  大阪真空の油回転真空ポンプは、油ドレン弁によって油タンクに  溜まった油を手早く抜き出すことができ、大型の掃除口から油タンク 底部に溜まる錆や粘着物を簡単に取り除けます。

●点検が簡単な排気弁部

 排気弁部の点検や部品取替えは、排

 気弁アセンブリを取り出すだけで

 簡単におこなえます。取り出す時は  モータや油タンクを取りはずす必要 はなく、ステータ上の排気弁蓋を開け て容易に取り出すことができます。

油ドレン弁

油セパレ-タ内蔵 油タンク

サイトグラス

メンテナンスしやすい構造

 (真空)ポンプ油の主な役割は、ポンプ内摺動部の気密性確保(シール)と潤滑です。これにより高い排気能力を

実現し、スムーズな運転を可能にします。また、油の劣化や汚染は、排気性能低下や故障の原因になります。

 ポンプをより長くお使いいただくためには、ポンプ油の適切な管理とメンテナンスが重要です。

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標準仕様 標準仕様

●標準塗装色:緑色ハンマートーン(マンセル10GY6/6相当色)

●許容周囲温度:運転時は10℃~40℃、保管時は-5℃~60℃

呼び排気速度  50Hz/60Hz

到達圧力

許容排気口圧力

連続運転可能な吸気口圧力

連続運転可能な吸気口圧力までの

排気制限(目安) ※1

回転数    50Hz/60Hz

標準モータ出力

油量

冷却水量 ※2

質    量

輸出梱包総容積

輸出梱包総質量

m3/h

L/min

Pa

Torr

kPa

Torr

kPa

Torr

min

m3

r/min

kW

m3/h

kg

kg

m3

kg

P90

90

1500

30以内

15以下

410

2.2

5

185

165

0.68

350

15

1.5

18

P180

180

3000

10以内

7以下

390

3.7

370

320

1.4

550

P222

222

3700

37以下

500

5.5

0.5

440

380

1.5

650

P450

450

7500

120以下

900以下

75以下

11

0.9

780

670

2.5

1050

P600

600

10000

30以内

100以下

400

15

1000

840

3.1

1300

P901

900

15000

150以下

22

50

1510

1250

3.0

1800

K30002

1800

30000

1

7.5×10-3

4以下

30以下

210以下

360

45

91

2.5

3500

2700

17

4500

全閉外扇屋内形モータ付

モータなし

時間

容積

※1:リークおよびガス発生を考慮しない容器を大気圧から排気する場合の許容時間および容積。 ※2:冷却水温度は最高30℃を目安にして下さい。凍結防止のため保管時には水を抜いて下さい。

空冷

0.7

5.3×10-3

7以下

53以下

13以下

100以下

形  式

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排気速度曲線 排気速度曲線

簡易機種選定 簡易機種選定

10-1 100 101 102 103 104 105100

101

102

103

104

P222

P180

P450

P600P901

K30002

P90

排気速度 (m3 /h)

吸気口圧力 (Pa)

0 5 10 15 20 25 30 35排気所要時間min

0.1

1

10

100

圧力 kPa 12

1098

7

6

5

4.5

43.532.521.51.210.80.6

時定数 : τ(min)=V(ℓ)/S(ℓ/min)(∴ S=V/τ)

要求圧力までの排気時間に制約がある場合、左のグラフと

によって簡単な機種選定を行うことができます。

<計算例> V=12000ℓの容器を102kPa(大気圧)から1kPaまで20分以内に排気したい場合 ①要求圧力(縦軸)の1kPaと要求排気時間(横軸)の20分の交点を  読み、その点に最も近い下側の曲線の値(時定数 : τ)を読む。    τ=3.5 ②前述の式S=V/τにVおよびτを代入し計算する。  S=12000/3.5≒3430(ℓ/min)≒206(m3/h) よって要求排気時間を満たすためには、S=206(m3/h)以上の排気速度を持つ真空ポンプ(P222)が必要となる。 なお、このグラフと式は、大気圧から減圧する場合で、要求圧力が ~0.1kPaまでの範囲の時で、ポンプ吸気口と同口径の配管を約10mと仮定した時のものです。また、外部からの空気の漏れ込みや、装置・配管内部の発生ガスは無視しています。コンダクタンスや、導入ガス種や量、リーク量など、実際の仕様に合わせた詳細な機種選定は、 当社営業担当にご相談下さい。

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外観寸法図 外観寸法図

P90

P180

P222

4-φ23 基礎ボルト孔4-M 20×315

排水口Rc 3/8

手動式リーク弁排油口Rc 3/4

冷却水出口Rc 3/8

給油口G 11/4

170

210

125

920

700

排気口 65AJ IS 10K FF

900555 345

335250

504450

270 180

27油面計(φ100)

掃除口

550

250

85

410 250

吸気口 80A

J IS 10K FF

740365 375

296131

25060

455

冷却水出口Rc 3/8

冷却水入口Rc 3/8

P450

J IS 10K FF

電動機 11kW 4P

電動機 5.5kW 4P

電動機 3.7kW 4P

手動リ-ク弁

515 300

683

550500

320

340

排気口 80A

掃除口

4-23キリ基礎ボルト穴4-M 20×315

吸気口 100AJ IS 10K FF

冷却水入口 Rc 1/2

405

油面計(φ100)

455430

~195350

冷却水出口 Rc 1/2

~250

~813~358

~90

排油口 Rc 3/4

給油口G 11/4

415

7201066

30

570

275

105

~628

210210210160

手動式リーク弁

サイトグラス

60

油面計(φ100)

40

JIS 10K FF

250348排気口 Rc 11/2

775447.5 327.5

550500

300 200

20

420

200

4-φ19 基礎ボルト孔

吸気口 50A

電動機 2.2kW 4P

給油口 G 11/4

排油口 Rc 1/2

725

530

144

5504-M 16×250

J IS 10K FF

4-M 20×315

927584.5 342.5

排気口Rc 21/2

掃除口

550500

300 200

500

240

250390

吸気口 80A

4-φ23 基礎ボルト孔

730300250

手動式リーク弁

給油口G 11/4

排油口Rc 3/4

468105

油面計(φ100)

560860

25

179

270

170

270

170

サイトグラス

サイトグラス

サイトグラス

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150

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P901

K30002

■ポンプ据付けについて

●据付必要スペース メンテナンスのために、周囲にスペースを確保することを推奨します。スペースが狭くても使用できますが、据え付けたままでのオーバーホールやメンテナンスが行えなくなることがありますので、ご注意下さい。

●コンクリートの基礎に、ポンプを水平に基礎ボルトで確実に固定して下さい。

●吸気配管 吸気口径と同じ径の配管をご使用下さい。また、チャンバー(装置)側へのポンプ油飛散防止のために、ポンプ本体に近い部分で500mm以上の立ち上がり配管を設けることを推奨します。 吸気配管に真空計もしくはゲージポートを取り付けると、メンテナンス時などに役立ちます。

●排気配管 必要に応じて、油タンクもしくは油煙トラップの排気口から屋外まで排気配管を設けて下さい。排気抵抗が大きくならないようにし、また排気配管の先端から雨水等が入らないようにして下さい。凝縮性ガスを吸引する場合は、排気管内での凝縮にも注意して下さい。

P600

油面計(φ100)

排気口 100A

掃除口

JIS 10K FF吸気口 100AJ IS 10K FF

4-φ23 基礎ボルト孔4-M 20×315

500 300

554500

675 4001125

冷却水入口 Rc 1/2514450

928520

220

排油口 Rc 1/2

冷却水出口 Rc 1/2

給油口 G 11/4

手動式リーク弁725

120385

100205

290

175

7801100

620

275

200

30

685

620 47310934-M 20×315

排気口 100AJ IS 10K FF

300 350650710

掃除口

吸気口150A

冷却水入口 Rc 3/4

826

4-φ23 基礎ボルト孔

420630

445

1386560

JIS 10K FF

油面計(φ100)

排油口

手動式リーク弁

~120

給油口G 11/4

冷却水出口Rc 3/4

555

560614560614

840

190 310

30

130

1175

650

掃除口 150A

430

1000930

1715100093035 35

JIS 5K FF

J IS 5K FF

冷却水出口Rc 3/4冷却水入口Rc 3/4

排気口 150A

吸気口 150A

手動式リーク弁

排水口Rc 1/21715 2750

715 1250 715600 15035 35

190

280 400

1800

8-M 24×400

排油口Rc 3/4

温度計取付座Rc 1/2

給油口G 11/4油面計油タンク

8-φ27 基礎ボルト孔

1075

590

1950

720

20

170

170

170

電動機 15kW 4P

電動機 22kW 6P

電動機 45kW 6P

〔外観、配置、取り合いなどが変わる場合があります。詳しくは当社営業担当までお問合せ下さい。〕

サイトグラス

サイトグラス

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標準仕様とカスタマイズ化 標準仕様とカスタマイズ化

所要電力

大阪真空の油回転真空ポンプは、右図のように到達側

(高真空側)では所要電力が小さくなります。水封式真空

ポンプでは使用圧力領域によらず所要電力はあまり

変わりませんが、油回転真空ポンプでは、高真空領域で

使用する場合、より一層省エネになります。

標準モータ仕様

外 被 構 造

取 付 方 法

極 数

相 数

回転子構造

定 格 電 圧 定格周波数

:全閉外扇屋内形

:脚取付型

:(P90~P600)4極、(P901、K30002)6極

:3相

:かご形

:200V・50/60Hzまたは220V・60Hz

標準負荷電流

吸気口圧力

負荷電流値

大気圧側 到達側

[モータの種類] お客様の使用環境を十分考慮して、モータを選定して下さい。また、モータメーカーによっても多少仕様が異なります ので、詳しくはモータメーカーにお問い合せ下さい。

標準モータ以外に、お客様の使用環境に応じたモータ(下記参照)の取り付けができます。また、各社製モータ指定※1や、 お客様からのモータ支給も承ります。※2 なお、モータによっては、ポンプ取付部の改造追加費用が必要になる場合や、納入までお時間をいただく場合もあります。

※1:メーカー指定は事前にご連絡下さい。 ※2:モータ無しでの販売も承ります。その際は当社検査用モータで動作試験を行います。

●防爆形モータ   JIS規格および工場電気設備防爆指針に準拠し製作されて おり、安全性の高いモータです。爆発性ガスが発生し、爆発 する危険な濃度となる恐れのある事業所等では、防爆形モ ータを使用する必要があります。  設置場所での爆発性ガスの発生状況(危険場所)によって 以下のモータを選定します。

・耐圧防爆屋内/屋外形モータ  モータ内部で爆発性ガスの爆発が起っても、その圧力に耐 え、かつ外部のガスに引火する恐れのない構造です。第1種 危険場所および第2種危険場所で使用できます。

・安全増防爆屋内/屋外形モータ  正常な運転中に電気火花または高温を生じてはならない部 分に、これらが発生するのを防止するように、構造上および 温度上昇について安全度を増加した構造です。第2種危険 場所で使用されます。  

※第1種危険場所で使用できるものもありますので、お問い合せ下さい。

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●全閉外扇屋内形モータ(当社標準モータ)  屋内で使用する場合に選定します。

●全閉外扇屋外形モータ  屋外に設置して使用する場合に選定します。なお屋外に設 置する場合は、屋根などを作りポンプを保護して下さい。

●防滴保護形モータ  小形・軽量で、水滴などの異物の侵入や作業者の危険を防止  したモータです。屋内で、塵埃の少ない場所や水滴のかか る場所に設置する場合に選定します。

●異電圧仕様モータ  標準仕様以外の電圧仕様モータも、お客様の仕様に応じて 対応いたします。詳しくは当社営業担当にお問い合せ下さい。  (例:440V、380Vなど)

:爆発性ガスが常時発生・蓄積する場所 :常時発生しないが、漏洩侵入する可能  性のある場所

第1種危険場所 第2種危険場所

◆危険場所とは

用途に合わせたモータの選定

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■用途に合わせた材質やオプション部品

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(出荷時は1台分を同梱) 別途御注文の際は、使用機種、製品名称および部品型式等をご連絡下さい。

御注文の際は、使用機種、製品名称等をご連絡下さい。製品詳細についてはお問い合せ下さい。

ポンプ形式 P90 P180 P222 P450 P600 P901 K30002

製品名称

手動油弁(パックレスバルブ) 手動リーク弁

同上取付用ガスケット[V#6500] サイトグラス

静電防止Vベルト 基礎ボルト、ワッシャ・ナット付き 吸気口相フランジ[SS400]

吸気口用閉止ガスケット[V#6500] 吸気口用ガスケット[HC#25] 排気口相フランジ[SS400]

排気口用閉止ガスケツト[V#6500] 排気口用ガスケット[V#6500]

ポンプ油

NBV802AGX

GFS-8AB[Rc1/4] [P401337-01A-02] [P401337-01B-02] [3V-560 No.50](2本) [M16×250](4本) [50A JIS 10K FF] [φ100×1.5t]

[50A JIS 10K FF用]

[P301386-01A-03] [P301386-01B-03] [3V-670 No.50](3本)

NBV1003AGX [LV-3/8]

[φ28*φ17*1.5t]

[P401981-01A-01] [P401981-01B-01] [3V-800 No.50](5本) [M20×315](4本)

[80A JIS 10K FF] [φ130×1.5t]

[80A JIS 10K FF用] MR-200[4リットル缶もしくは18リットル缶]

[P301388-01A-03] [P301388-01B-03] [3V-850 No.50](6本)

[P302333-01A-01] [P302333-01B-01] [5V-950 No.50](4本)

[150A JIS 10K FF] [φ210×1.5t]

[150A JIS 10K FF用]

[P340321-00-05] [LV-1・1/4]

[φ56×φ42×1.5t] GFS-20A[Rc3/4]

[P301383-01A-02] [P301383-01B-02] [D-#140](6本) [M24×400](8本) [150A JIS 5K FF] [φ210×1.5t]

JISB2401 V175 NBR [150A JIS 5K FF] [φ210×1.5t]

[150A JIS 5K FF用]

GFS-10A[Rc3/8]

[100A JIS 10K FF] [φ155×1.5t]

[100A JIS 10K FF用]

GFS-10AB[Rc3/8] [P301387-01A-03] [P301387-01B-03] [3V-710 No.50](3本)

[65A JIS 10K FF] [φ120×1.5t]

[65A JIS 10K FF用]

[80A JIS 10K FF] [φ130×1.5t]

[80A JIS 10K FF用]

[100A JIS 10K FF] [φ155×1.5t]

[100A JIS 10K FF用]

50Hz 60Hz

モータプーリ

型式/[仕様]/(1台当りの必要数量)

ポンプ形式 P90 P180 P222 P450 P600 P901 K30002

C1500

[C1500用](3本)

C3001

[C3001用](3本)

KC3701

C3700

[KC3701/C3700用](3本)

KC30000

C30000

[KC30000/C30000用](14本)

KC15001

[C15000]

[KC15001/C15000用](5本)

KC7501

C7500

KC10001

C10000

[KC7501/C7500/KC10001/C10000用](3本)

油煙トラップ 直接取付形

配管挿入形

[用途に合わせたカスタマイズ化]

[オプション部品]

水 分 を 含 む 気 体 の 吸 引

溶 剤 、擬縮性気体 の 吸引

腐 食 性 ガ ス の 吸 引

ダ ス ト や 異 物 の 混 入

油 蒸 気 の 排 出 量 低 減

大気ー真空の繰返し運転、高圧運転

システムの自動化、停電対策

真 空 度 管 理

: ガスバラスト弁の取付、加熱分離器の設置、油水分離器の設置、二段式ポンプなど

: 同上の他、ロータベアリングの取付、注油機設置など

: ふっ素系ガスケットに変更、 全ステンレス材給油配管に変更、 合成油・ふっ素系油の使用、 排気部へのN2パージなど

: 吸気口手前への各種トラップの取付

: 油煙トラップの取付など

: 高圧型排気弁への交換、低圧損タイプ油煙トラップエレメントの使用など

: 電磁式リーク弁、電磁式油弁など

: ゲージポート(溶接型)、ゲージアダプタ(クランプ継手型)など

本 体

油面計、サイトグラス

ガ ス ケ ッ ト

排 気 弁 部

給 油 配 管

: 鋳鉄、炭素鋼

: 強化ガラス[K30002油面計はアクリル樹脂]

: ニトリルゴム、ノンアスベストガスケット

: 鋳鉄、ステンレス鋼

: 鋼管、銅管、銅合金

例)

お客様のご使用に合わせて、またより便利に使用するために、一部材質の変更、オプション部品の変換・追加・周辺機器との組み合わせが可能です。 ご仕様に合わせた適切な選定により、製品の長寿命化、メンテナンスサイクルの延長、周辺設備・環境への影響低減など、様々な効果が得られます。油回転真空ポンプをより便利に、より安全にご使用いただくために、お客様の環境やプロセスに合わせて、必要な機器をお選び下さい。

●自動リーク弁 電磁式もしくは空圧作動式で、ポンプ停止時に自動でリークできます。また、停電時の対策にも有効です。 ●電磁式油弁 ポンプ停止時にステータ内に油が大量に残っていると、次の起動時にオーバーロードを起こす可能性があります。ポンプ停止時は油配管途中の油弁を閉じてステータへの油を遮断し、起動時に開けて油供給を再開します。電磁式油弁は、これらを自動で行えます。 ●ガスバラスト弁 凝縮しやすい溶剤や水分を吸引する場合、ポンプ内での凝縮を防ぐために、圧縮動作中に新鮮な空気を導入します。 ●騒音低減弁(ノイズレデューサ) 油回転真空ポンプは、無負荷運転時の到達圧力近辺で、排気弁部の音が大きくなります。その音を低減するために、ごく少量の空気を導入する弁です。 * P180、P222、P600用

●高圧型排気弁 高圧領域での運転や、大気-真空を繰り返す場合などでは、排気弁への負荷が大きく頻繁に交換が必要になります。高圧型排気弁を使用することによって、排気弁寿命を延ばすことができます。

●油フィルター ダストや異物が混入する可能性がある場合にサイトグラス(標準)に変えて使用し、混入した異物を除去します。 ●自動排水管 油タンク底部に溜まった凝縮ドレンを、サイフォン原理で排出します。 ●油クーラ 油配管途中に取り付けて、油温を下げます。低真空領域で運転する場合など、油温が上昇しやすいプロセスで有効です。 ●油温計 油タンクに取り付けて油温を監視します。ポンプ運転中に作動油が高温になりすぎると排気能力が悪くなり、運転にも悪影響を及ぼします。 ●給油ポンプ ポンプの運転を止めずに油を補給します。作動油が減少しやすいプロセスに有効です。 ●油煙トラップ用油戻し配管 油煙トラップ底部に溜まった油を、油タンク内に戻すための配管です。ポンプと同時購入していただく場合、当社で取付もいたします。 ●各種トラップ 必要に応じて各種トラップをご用意いたします。詳しくはご相談下さい。

●ストレーナ(吸気口用) ステンレス金網付JIS10K(K30002は5K)フランジ。ダストや異物が混入する可能性がある場合に使用します。吸気口に直接取り付けるとストレーナの閉塞の恐れがあるため、配管途中に取り付けて下さい。ただし、排気能力は低下します。 また、設置時に吸気側配管のゴミや溶接カスが吸引されることがありますので、試運転時に一時的に使用することもあります。 ●ベローズフランジ 吸気口に取り付けることにより、装置(チャンバー)側に伝わるポンプ振動を低減します。 ●ベルトテンションメーター ベルトの張り具合を点検するための測定器具です。保守点検時に必要です。 ●ゲージアダプタ(ゲージポート) 真空計測定子を取り付けるためのアダプタです。配管途中に取付けて取付けます。 溶接形ゲージポート…[GW15S]φ15,SUS304          [GW18S]φ18,SUS304          [GW15M]φ15,SS クランプ継手形ゲージアダプタ…[GF15S25K]φ15,KF25,SUS304          [GF18S25K]φ18,KF25,SUS304          (取付用)クランプ[FC25C]              センターリング[FR25C]              ※共にKF25,アルミ

※使用条件により効果が異なります。詳しくはご相談下さい。

※1:KC3701/KC7501/KC10001/KC15001は吐出口横向き型です。旧型(吐出口上向き型)のKC3700/KC7500/KC10000/KC15000は受注生産となります。なお、油煙トラップエレメントは共通です。 ※2:受注生産となります。

※1

※2 ※2 ※2 ※2 ※2

※2

※1:オプションで油フィルターに交換する場合もあります。

型式/[仕様]/(1台当りの必要数量)

油煙トラップエレメント

製品名称

主要部の標準材質

標準付属品

※1

─ 10 ─

Page 12: Oil-sealed Rotary Vacuum Pumps²¹回転真空...4 油ドレン弁 油面計 掃除口 排気弁部 効果的な油回収と 簡単な油状況の確認 効率の良い油セパレータ

2008.7.3000.(H)

お問い合わせ先とメンテナンスに関して お問い合わせ先とメンテナンスに関して

■営業拠点 本カタログに掲載している製品についてのお見積り、機種選定、技術相談、使用方法などの各種 お問い合せは、下記までご連絡下さい。

■メンテナンスサポート拠点

■メンテナンスに関して

メンテナンス、オーバーホールのご依頼は、下記までご連絡下さい。

西日本営業部

東日本営業部

名古屋営業部

〒541-0041 大阪市中央区北浜3-5-29(日生淀屋橋ビル) Tel 06-6203-3981 Fax 06-6222-3645

〒104-0061 東京都中央区銀座8-14-14(銀座昭和通りビル) Tel 03-3546-3731 Fax 03-3546-1560

〒460-0002 名古屋市中区丸の内3-18-1(第8KTビル) Tel 052-950-3051 Fax 052-950-3062

堺工場 MPサービスグループ 〒593-8324 大阪府堺市西区鳳東町7-775 (ダイアルイン) Tel 072-271-1681 Fax 072-271-9641

有毒ガスを吸引する製品のメンテナンス

人体に有毒なガスを吸引した履歴を持つ製品は、そのままでは作業ができません。お客様で 充分に洗浄して下さい。詳しくはMPサービスグループにお問い合せ下さい。

オーバーホール オーバーホールには機種ごとに専用工具が必要です。オーバーホールを行う場合は、当社MPサービスグループにご依頼下さい。 当社工場にご返却いただき作業を行う他、当社スタッフが現地にお伺いする、出張作業も承ります。

技術指導 製品とその用途に精通した技術員が待機しており、製品の運転取扱い手順や点検保守の 仕方などを、お客様に直接ご説明いたします。

ターボ分子ポンプ・複合分子ポンプ・磁気軸受形ターボ分子ポンプ・

磁気軸受形複合分子ポンプ・ヘリカル溝真空ポンプ・

ターボ分子ポンプ排気ユニット・ドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプ・

ルーツ真空ポンプ・液封式真空ポンプ・油拡散真空ポンプ・

エジェクタ・真空システム・真空装置・真空バルブ・真空部品

〒541-0041 大阪市中央区北浜3-5-29(日生淀屋橋ビル) Tel (06)6203-3981 Fax (06)6222-3645

■ 西日本営業部

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■ 東日本営業部

〒460-0002 名古屋市中区丸の内3-18-1(第8KTビル) Tel (052)950-3051 Fax (052)950-3062

■ 名古屋営業部

■ 名 張 工 場

■ ソウル支店

Osaka Vacuum U.S.A., Inc. 48000 Fremont Blvd. Fremont, CA 94538 U.S.A. Tel +1-510-770-0100 Fax +1-510-770-0104

上海欧洒 真空機器有限公司

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