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Fabrication des microsystèmes

Applications

Outils de conception

Groupe de Microélectronique et Microsystèmes

Photolythographie

Principes généraux

Fabrication des microsystèmes

Substrat (Si)

Couche photo-sensible

Masque

UV

Substrat (Si)Dissolutionde la couche

photo-sensibleexposée

Photolythographie

Substrat (Si) Substrat (Si)

+ Déposition (physique ou chimique)

Dissolutionde la couche

photo-sensible

Fabrication des microsystèmes

Principes généraux

PhotolythographieDéposition (physique ou chimique)

Substrat (Si)

Solution chimique

Substrat (Si)

+ Gravure (humide ou sèche)

Dissolutionde la couche

photo-sensible

Fabrication des microsystèmes

Principes généraux

Photolythographie

Gravure (humide ou sèche)Déposition (physique ou chimique)

Substrat (Si) Substrat (Si)

IONS

+ Diffusion ou implantation d'impuretés (ions)

Dissolutionde la couche

photo-sensible

Fabrication des microsystèmes

Principes généraux

Substrat de type p

nn

Oxyde

Source Gâchette Drain

Métal

Exemple: MOSFET

Fabrication des microsystèmes

Principes généraux

Fabrication des microsystèmes

Applications

Outils de conception

Groupe de Microélectronique et Microsystèmes

Circuits intégrés spécifiques (ASICs)

Micro-électronique Microcontrôleurs Microprocesseurs Circuits programmables (PLDs, FPGAs)

Fiabilité, sécurité, performance

Applications

Micro-électromécanique Capteurs Moteurs Relais et Interrupteurs Composants électromagnétiques

Faibles consommation, poids, coût Possibilités d'intégration Fiabilité

Applications

Microfluidique Conduits Valves, pompes, vannes Filtres, mélangeurs, échangeurs thermiques

Faible coût Optimisation des réactions et mélanges Fiabilité

Applications

Fabrication des microsystèmes

Applications

Outils de conception

Groupe de Microélectronique et Microsystèmes

Microélectronique

Outils de conception

if input='1' then output <= '0';else output <= output;end if;...

NUMÉRIQUE: VHDL (Hardware Description Language)

SynthèseConception

ANALOGIQUE: Schématique

Micro Electro-Mécanique

Outils de conception

Synthèse

Conception